空氣過濾器（qì）分級誕生：隨著微電子工業（yè）的發展,對空氣過濾器（qì）特別是高效過（guò）濾器的要求越（yuè）來越嚴,德國標準DIN24183率先提出"最容易（yì）穿透粒徑"(Most Penetrating Particle Size,簡稱MPPS)法,並采用最容易（yì）穿透粒徑來檢測空氣過濾（lǜ）器的效率.其實不同的濾（lǜ）料和不同的濾速最容易穿透粒徑是（shì）不同的,一般在0.11um-0.25um範圍內.然後以（yǐ）此粒徑測試其效率或用於掃描實驗。

MPPS是目前最嚴格（gé）的試驗標準,具體測試一般采用DOP方法. DOP(鄰苯二甲二辛酯)法:實驗塵源為0.3um單分散相DOP液滴,測量粉塵儀器為光度計,以（yǐ）氣樣的濁度差別來判定過濾器對DOP顆粒的過濾效（xiào）率（lǜ）.目前逐步采用大流量激光粒（lì）子計（jì）數器或凝結核（hé）計數器對過濾器整（zhěng）個（gè）出風（fēng）麵進行掃描檢驗。